在扫描电子显微镜中，电子束与样品之间存在多种相互作用，这些相互作用产生的信号被用于生成样品表面的图像。以下是主要的电子束与样品相互作用过程：

弹性散射：

这是基本的相互作用过程，其中入射的高能电子与原子核或电子云相互作用，导致电子的方向发生改变，但其能量保持不变。这不会直接产生图像，但可以提供有关样品的一些结构信息。

非弹性散射：

在非弹性散射中，入射电子与样品中的原子或电子发生相互作用，导致电子丧失或获得能量。这些能量损失的电子称为散射电子，它们可以提供有关样品组成的信息。

二次电子发射：

当高能电子与样品表面原子相互作用时，可能会引起表面原子中的一个或多个电子被释放出来，形成称为二次电子的电子。这些二次电子是生成SEM图像的主要信号。不同材料的表面形貌差异可以通过捕捉和检测二次电子来可视化。

反射电子：

部分入射电子可能会经历弹性散射并以较高的能量返回，这些被称为反射电子。这些电子的能量与样品的原子序数有关，因此可以提供有关样品组成的信息。

这些相互作用过程产生的不同信号通过探测器捕获，并转换成电信号，然后用于生成图像。通过扫描电子束并记录不同位置的信号，可以形成高分辨率的表面形貌图像。这种图像提供了关于样品表面微观结构和组成的详细信息。

ZEM20台式扫描电镜

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