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扫描电镜如何进行表面形貌分析?

日期:2023-12-15

扫描电镜是一种常用于表面形貌分析的先进显微技术。以下是进行表面形貌分析的一般步骤:

样品制备:

样品通常需要被金属喷镀(或其他导电性涂层),以增强其导电性,以便在SEM中观察。

样品的大小通常在毫米到厘米的范围内,并且需要被切割或磨削到适当的尺寸。

导电涂层:

对于非导电性样品,需要在样品表面涂覆一层导电涂层,通常是金属(如金或铂)薄层。这可以通过真空蒸镀或溅射等方法实现。

样品安装:

将样品安装在SEM样品台上,确保它稳固且导电性良好。

真空抽取:

在进行观察之前,需要将SEM室内的空气抽取,创建真空环境,以避免电子束与空气分子相互作用。

参数设置:

设置SEM的工作参数,包括加速电压、电流、放大倍数等。这些参数的选择取决于具体的样品和所需的分辨率。

对焦和调整:

使用SEM的对焦和调整功能,确保获得清晰的图像。

图像获取:

使用电子束扫描样品表面,通过探测所产生的信号生成图像。通常,这些信号包括二次电子图像(SEI)和反射电子图像(BEI)等。

分析和测量:

利用SEM软件进行图像分析和测量,包括颗粒大小、表面形貌等参数。

结果解释:

根据SEM图像和分析结果,解释样品的表面形貌特征,提取有关样品性质的信息。

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作者:泽攸科技