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扫描电子显微镜是否能够成像非导电样品?

日期:2023-12-06

扫描电镜(SEM)通常可以成像非导电样品。相较于传统的透射电子显微镜,SEM对于样品的导电性要求较低。

在SEM中,样品通常需要涂覆一层薄的导电性金属膜(例如金属薄膜),以提高样品表面的导电性。这是因为SEM工作时需要通过样品表面的电子散射来形成图像,而导电性有助于避免电荷积累和电荷漂移,确保图像的清晰度。

然而,对于一些本身具有一定导电性的样品或者无法进行金属薄膜涂覆的样品,也可以通过调整SEM的工作条件来进行成像。例如,可以使用低电子束能量和适当的探测器配置,以减小对非导电样品的表面电荷影响,从而实现对非导电样品的成像。

一些扫描电镜设备还配备了特殊的探测器和样品台,以增强对非导电样品的成像能力。这些技术的发展使得SEM在成像各种类型的样品时更加灵活和可行。

ZEM18台式扫描电镜

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作者:泽攸科技