扫描电子显微镜可以用于化学分析，尤其是表面分析。然而，SEM本身并不直接提供化学信息。相反，它提供高分辨率的表面形貌图像。

为了进行化学分析，通常需要将能量散射谱或者电子能谱仪与SEM结合使用。这两种技术都允许对样品进行元素分析。

能量散射谱： 能量散射谱是一种通过探测样品表面上的X射线来分析其元素组成的技术。当高能电子轰击样品表面时，产生的X射线具有特定的能量，与元素的特征能级相对应。EDS探测器可以测量这些X射线，并通过分析它们的能谱来确定样品中的元素。

电子能谱仪：电子能谱仪利用电子束与样品相互作用时的电子能量损失来提供化学信息。通过测量透射电子束的能量损失，可以获得关于样品中元素的化学信息。

ZEM18台式扫描电镜

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