在扫描电子显微镜（SEM）中，EDS 指的是能谱分析。EDS 是一种用于分析样品中元素成分的技术，通过测量样品在电子束照射下产生的X射线来实现。

基本原理如下：

当高能电子束照射样品表面时，样品中的原子会被激发，并从内层电子轨道中排出电子。

这个过程导致原子处于激发态，为了恢复平衡，外层电子将填补内层空缺的位置。

填充过程中，外层电子向内层电子发射X射线。

这些特定能量的X射线与元素的种类有关，因为每个元素都有独特的电子能级结构。

EDS 探测器测量并记录这些X射线的能谱，从而提供有关样品中存在哪些元素及其相对丰度的信息。

EDS 在 SEM 中的应用有以下几个方面：

元素分析： EDS 可以用于确定样品中的元素成分。通过分析X射线能谱，可以识别样品中的元素种类，并计算它们的相对丰度。

成分映射： EDS 还可以用于生成元素分布图，显示样品表面不同区域中元素的分布情况。这对于研究样品的微区域成分非常有用。

定量分析： 利用标准样品的校准，EDS 可以提供相对准确的元素定量分析。

矿物学： EDS 在矿物学研究中非常有用，可以用于分析矿物中的元素。

材料科学： EDS 在材料科学中应用广泛，可用于分析材料的组成、相和晶体结构。

通过将 EDS 与 SEM 结合使用，可以在显微镜的高分辨率图像上直接获取元素信息，为科学研究、材料分析和质量控制提供了重要的工具。

ZEM20台式扫描电镜

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜中的EDS是什么。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。