扫描电子显微镜（SEM）的样品镀膜是在需要观察的样本表面覆盖一层薄膜，通常是金属薄膜，以改善样本在SEM中的成像性能。这种镀膜过程可以通过物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）等方法进行。

样品镀膜的主要目的是：

增加导电性： 许多样本，特别是非导电的生物样本或绝缘材料，往往在电子束照射下会产生电荷积累，导致图像失真或伪影。通过在样本表面镀上导电薄膜，可以有效消除电荷积累问题，使电子束能够更好地通过样本表面。

增加对比度： 金属薄膜通常比样本本身更容易与电子束相互作用，从而产生更强的二次电子和后向散射电子，这可以提高图像的对比度，使细节更容易观察。

保护样本： 一些样本可能在高真空环境中易受损或氧化。通过镀上一层薄膜，可以保护样本免受环境影响，同时还可以保留样本的形状和结构。

增加细节显示： 镀膜可以使样本的表面特征更突出，从而更容易观察到微小的细节和结构。

化学成分分析： 对于金属镀膜，还可以使用能量色散X射线谱（EDS）等附加设备对样本进行化学成分分析，以获取样本表面元素的分布信息。

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