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如何解决台式扫描电镜中的样品表面充电问题?

日期:2023-08-10

在台式扫描电镜(SEM)中,样品表面充电问题是一个常见的挑战,可能会导致图像质量下降、分析误差等。充电问题通常在非导电样品(如绝缘体)上更为明显,因为电子束与样品相互作用时会导致电子的积聚和充电现象。以下是一些解决台式扫描电镜样品表面充电问题的方法:

导电涂层: 在样品表面涂覆一层薄的导电涂层,如金属薄膜或碳薄膜,可以有效地将电子束导入地面,减轻充电效应。

真空脱气: 在SEM操作前,将非导电样品放置在真空脱气室中,利用真空环境去除表面的气体分子,减少充电效应。

低电子束能量: 使用较低的电子束能量来照射样品,这可以减少电子束与样品相互作用,从而降低充电效应的影响。但需要注意,较低的电子束能量可能会导致图像分辨率下降。

金属导电胶: 将样品固定在导电胶上,导电胶可以将电子束引导到地面,减轻充电效应。

样品冷冻: 冷冻样品可以减少样品表面的电子排斥效应,从而减轻充电问题。这在一些特定情况下可能是一个有效的方法。

透射电镜(TEM)观察: 如果充电问题无法解决,可以考虑使用透射电镜观察样品,因为在TEM中样品通常被薄到足够薄,以至于充电效应不太明显。

低真空模式: 一些SEM设备提供低真空模式,可以在减少气体分子密度的条件下进行成像,从而降低充电效应。

电子束抑制器: 一些SEM设备可能配备了电子束抑制器,可以通过引导电子束到样品外部来减轻充电效应。

电子束预处理: 在开始成像之前,使用较低的电子束扫描样品表面一段时间,这可以帮助消除部分表面充电效应。

环境SEM: 环境SEM操作在相对高气压下进行,可以减少充电问题的影响,特别是对于水分等吸附在样品表面的情况。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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作者:泽攸科技