扫描电镜的工作距离对图像的影响
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扫描电子显微镜(SEM)的工作距离是指样本表面到电子透镜(或称为物镜)的距离。工作距离的大小会直接影响SEM图像的成像效果和分辨率。以下是工作距离对图像的影响:
分辨率: 工作距离影响SEM图像的分辨率。较小的工作距离通常可以获得更高的分辨率,即更能够分辨出样本表面的微小细节。这是因为在较小的工作距离下,电子束散射和散焦效应较小,使得图像中的细节更加清晰。
深度焦点: 工作距离的变化还会影响图像的深度焦点。较大的工作距离可以获得较大的深度焦点范围,使得样本表面不同位置的区域都能保持清晰。这对于观察具有不同高度的表面特征或凹凸结构的样本非常有用。
对比度: 工作距离也会影响图像的对比度。较小的工作距离可以提供更高的对比度,因为电子束聚焦更强,散射较少,从而产生更清晰、对比度更高的图像。
镜头畸变: 在一些情况下,较大的工作距离可能会引起透镜畸变,影响图像的准确性。这取决于SEM的设计和仪器的校准情况。
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作者:泽攸科技