扫描电子显微镜（是一种常用的高分辨率显微镜，通过扫描样品表面并检测从样品表面反射的电子束来获得图像。以下是SEM的一些主要参数：

加速电压：加速电压是指施加在电子束上的电场力，以加速电子束的能量。它通常以千伏（kV）为单位。较高的加速电压可以提供更高的穿透力和更大的样品深度。

分辨率：SEM的分辨率是指其能够区分两个相邻物体或特征的能力。它取决于电子束的聚焦能力和检测系统的性能。SEM通常具有较高的分辨率，可以观察到亚微米尺度的细节。

透射电子检测器：SEM使用透射电子检测器来检测从样品表面散射的次级电子。次级电子的检测可以提供有关样品表面拓扑和形貌的信息。

背散射电子检测器：SEM中的背散射电子检测器用于检测从样品表面背向散射的高能电子。背散射电子的检测可以提供关于样品的组成和原子序数的信息。

样品舞台：样品舞台是放置样品的平台，可以控制样品的位置、旋转和倾斜。它允许在不同角度和方向下观察样品，并进行局部分析。

真空系统：SEM中需要维持高真空环境，以避免电子束与气体分子相互作用并减少散射。真空系统包括真空室、泵和气体排放系统。

这些是SEM的一些主要参数，不同型号的SEM可能具有其他参数和功能，以适应不同的应用需求。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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