在台式扫描电镜（SEM）中，探针电流是指扫描电镜电子束与样品表面相互作用产生的电流量。探针电流是SEM中一项重要的参数，可以提供关于样品性质和电子束与样品交互作用的信息。

探针电流的大小可以受到以下因素的影响：

电子束电流：电子束电流是SEM中调节的一个重要参数。增加电子束电流会导致探针电流变大。

加速电压：加速电压是指电子束在SEM中的能量。较高的加速电压通常会导致更大的探针电流。

样品性质：样品的导电性和形貌会影响探针电流。导电性较高的样品会产生较大的探针电流，而非导电性样品的探针电流较小。样品表面的形貌和纹理也会对探针电流产生影响。

探针与样品之间的距离：探针电流还与电子束与样品之间的距离有关。在SEM中，通过调整工作距离（Working Distance）来控制探针与样品的距离。

通常情况下，较高的探针电流可以提供更高的信号强度和更好的图像质量，但同时也可能导致样品的热损伤或退火效应。因此，在选择探针电流时需要平衡信号质量和样品的热影响。

具体的探针电流设置应根据样品的性质、SEM仪器的要求和实际需求进行优化。一般来说，您可以根据样品的导电性和SEM仪器的建议范围，逐渐增加探针电流，观察图像质量和样品状况，并找到适合您实验需求的探针电流值。

ZEM18台式扫描电镜

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