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台式扫描电镜电子束校准步骤

日期:2023-06-14

在使用台式扫描电镜(SEM)时,进行电子束校准是确保获得准确和可靠结果的重要步骤之一。以下是一般情况下的电子束校准步骤:

加载样品:将您要观察的样品放置在SEM样品台上,并确保样品固定稳定。

调整放大倍数:选择适当的放大倍数以获得所需的观察尺度。调整SEM仪器的放大倍数控制,使样品在屏幕上适当大小显示。

调整工作距离(Working Distance):工作距离是指电子枪和样品之间的距离。通过调整SEM仪器的工作距离控制,使电子束与样品的焦点位置达到适合状态。通常,工作距离的调整是通过观察样品图像的清晰度来完成的。根据您的SEM仪器型号,可能需要使用自动或手动控制来调整工作距离。

调整对比度和亮度:根据需要,调整SEM仪器的对比度和亮度设置,以获得清晰的图像。这可以通过控制图像增益、曝光时间或者亮度/对比度调节器来完成。

校准扫描电镜参数:根据SEM仪器的要求和操作手册,对一些重要参数进行校准。这些参数可能包括电子束电压、电子束对准、扫描速度和扫描模式等。根据SEM仪器的型号和软件界面,校准这些参数可能需要在设备控制面板或者计算机软件中进行。

确认校准:进行校准后,通过观察标准样品(如标准刻度尺或标准颗粒)来确认电子束的校准准确性。检查图像的尺寸、形状和细节,确保它们与已知的标准相匹配。

请注意,具体的电子束校准步骤可能因不同的SEM仪器型号和软件而有所不同。因此,在进行电子束校准之前,建议仔细阅读SEM仪器的操作手册,并按照手册中的指导进行操作。

ZEM18台式扫描电镜

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作者:泽攸科技