扫描电镜的结构组成
日期:2023-02-28
扫描电镜是一种利用高能电子束与样品相互作用,产生反射、透射、散射等信号,通过信号的捕捉与分析,获取样品表面形貌、成分和结构等信息的仪器。它的结构组成包括以下几个主要部分:
电子枪:产生高能电子束的部分,通常由热阴极或场发射阴极构成,可以控制电子束的亮度和聚焦效果。
操作系统:包括控制台、屏幕、键盘、鼠标等,用于对SEM的各项参数进行设定、控制和调整。
样品台:用于固定待观察的样品,并提供旋转、倾斜等操作,以便不同角度下的观察。
扫描线圈:通过控制扫描线圈的电流,产生磁场,控制电子束的扫描路径,从而实现对样品表面的扫描。
探测器:用于捕捉样品表面反射、透射、散射等信号,并将信号转化为电信号传输给图像处理系统。
图像处理系统:将信号转化为数字信号,进行放大、增强、滤波等处理,产生高质量的SEM图像。
显示器和存储器:用于显示处理后的图像和存储SEM图像数据。
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作者:泽攸科技
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