扫描电镜（SEM）是利用电子束与样品相互作用来成像的一种显微镜。其成像原理可以简述为以下几个步骤：

电子束的发射：SEM中的电子枪通过加热阴极，使其发射出高速电子束。这些电子被聚焦和加速，形成高能电子束，进入扫描线圈，通过扫描线圈的变化，实现对样品表面的扫描。

样品表面的相互作用：电子束扫描到样品表面时，会与样品原子产生相互作用，如散射、反射、透射等。这些作用会产生一系列信号，包括二次电子（SE）信号、回散电子（BSE）信号、X射线、次级离子（SI）等。

信号的检测和转换：SEM中设有相应的探测器，可以接收上述不同信号。其中，SE信号主要由二次电子探测器接收，BSE信号主要由回散电子探测器接收。探测器将信号转换为电信号，并通过电路放大和处理，输出到显示器上。

形成图像：显示器显示出经处理后的信号，形成样品表面的图像。SEM图像中的亮暗和颜色反映了样品表面的不同性质和成分，如SE信号主要反映表面形貌，BSE信号反映样品的化学成分和密度等信息。

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