透射电子显微镜原位STM-TEM测量系统是在标准外形的透射电镜样品杆内加装扫描探针控制单元，通过探针对单个纳米结构进行操纵和电学测量，并可在电学测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，大大地扩展了透射电子显微镜的功能与应用领域。

性能指标

透射电镜指标：

● 兼容指定电镜型号及极靴；

● 可选双倾版本，双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°（同时受限于极靴间距）；

● 保证透射电镜原有分辨率。

电学测量指标：

● 包含一个电流电压测试单元；

● 电流测量范围：１ nA-30 mA，9个量程；

● 电流分辨率：优于100 fA；

● 电压输出范围：普通模式±10 V，高压模式±150 V；

● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

扫描探针操纵指标：

● 粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

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