在扫描电子显微镜（SEM）成像过程中，伪影（artifacts）是指非原生的图像特征，它们并不反映样品的真实结构或成分。这些伪影可能会影响图像质量和分析结果。了解伪影产生的原因以及减少它们的方法对于获得准确的SEM图像至关重要。

伪影的常见类型及其产生原因

充电效应（Charging Artifacts）

原因：非导电样品在电子束照射下会积累电荷，因为这些材料无法有效导电使电荷散去。积累的电荷会引起电子束偏转，导致图像中的亮斑、条纹或整体失真。

减少方法：给样品镀上一层导电材料（如金、铂或碳），提高样品表面的导电性。

降低加速电压，减少电子束对样品的冲击。

在低真空或环境模式下成像，以便气体分子中和样品表面电荷。

边缘效应（Edge Effects）

原因：电子束在样品边缘发生散射，导致边缘部分的信号增强。这可能导致边缘比内部区域显得更亮。

减少方法：调整电子束的能量和光斑尺寸，以减少散射效应。

尽量避免样品不平坦的边缘暴露在图像区域内。

样品损伤（Sample Damage）

原因：高能电子束可能引起样品表面损伤，尤其是对有机或柔软材料，如聚合物、生物样品等，会导致结构变形或分解。

减少方法：使用低加速电压。

降低电子束曝光时间，减小束流。

采用冷冻SEM技术，保护样品不受电子束损伤。

振动伪影（Vibration Artifacts）

原因：外部振动会导致扫描电子显微镜的样品台或电子枪发生轻微移动，从而导致图像模糊或重复的条纹。

减少方法：将显微镜置于抗震平台上，减少环境振动。

确保显微镜的安装位置远离振动源，如机械设备、风扇或建筑工地。

扫描失真（Scanning Artifacts）

原因：由于扫描系统不稳定或电子束的移动速度不一致，可能导致图像出现拉伸、变形或错位。

减少方法：定期校准扫描系统。

保证电源稳定，避免电源波动对扫描速度的影响。

检查线圈和扫描器件，确保其正常工作。

回旋电子伪影（Backscattered Electron Artifacts）

原因：回旋电子信号被附近结构反射回来，导致图像中出现非预期的亮点或对比度异常。

减少方法：调整探测器位置，优化信号采集。

选择适当的样品倾斜角度以减少电子回旋的影响。

真空系统伪影

原因：真空系统内的残留气体、污染物或油蒸气可能与样品发生作用，导致图像出现条纹、雾状层或不均匀亮度。

减少方法：确保真空系统清洁，避免污染。

定期维护真空泵，尤其是油扩散泵，防止油气污染。

对比度和亮度调整不当

原因：成像过程中调整对比度和亮度时，过度调整可能导致伪影，如高对比度引起的假亮点或暗区。

减少方法：使用自动对比度和亮度功能，或通过手动调整使图像不过度饱和。

校准SEM系统的探测器，优化信号处理。

样品污染（Contamination Artifacts）

原因：样品受到环境污染、电子束分解有机物质或设备污染等因素的影响，可能会导致图像中出现薄膜或沉积。

减少方法：采用干净的样品准备流程，避免接触污染物。

使用低剂量的电子束，避免分解有机污染物。

定期清洁显微镜腔室及样品台。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜的图像伪影产生的原因和减少方法。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。