在扫描电子显微镜（SEM）中，工作距离（Working Distance, WD）是指电子枪发射出的电子束聚焦到样品表面之间的距离。工作距离的调整对信号收集效率、图像质量以及分辨率等都有重要影响，具体如下：

信号收集效率：

短工作距离：电子束的散焦较小，二次电子和背散射电子的收集效率较高，因为它们在样品表面与探测器之间的路径较短，这减少了信号丢失和电子散射。通常，短工作距离有助于提高图像的亮度和信号对噪声比。

长工作距离：由于电子在样品表面和探测器之间的路径更长，信号会衰减，尤其是低能量的二次电子。同时，背散射电子的发射角度影响会更明显，导致收集效率下降。因此，长工作距离通常会降低信号收集效率。

分辨率：

短工作距离一般用于高分辨率成像，因为电子束在样品表面的聚焦更紧密，能生成更清晰的细节。然而，由于短工作距离可能会增加样品与物镜或探针之间的相互干扰，使用时需要更精确的对准和控制。

长工作距离适合低分辨率成像和更大样品的观察，但通常分辨率较低。

景深：

工作距离越长，景深（焦距范围内清晰成像的深度）越大，适用于较大或不平整样品的观察。

短工作距离则会减少景深，因此更适合用于观察平坦样品或对特定细节的高分辨率成像。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜中的工作距离如何影响信号收集效率。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。