在扫描电子显微镜（SEM）中，高真空（High Vacuum, HV）和低真空（Low Vacuum, LV）模式的切换是为了适应不同样品的成像需求。高真空模式通常用于无挥发性或导电样品，而低真空模式适用于易挥发或非导电样品。以下是如何在SEM中进行高真空和低真空模式切换的步骤和注意事项：

1. 理解高真空和低真空模式

高真空模式:

真空度: 通常在10⁻⁶托 (Torr) 量级。

应用: 适用于导电样品和某些经过表面处理的非导电样品（如镀金、镀碳）。

优点: 提供更高的分辨率和对比度，适合精细结构的成像。

低真空模式:

真空度: 通常在10⁻²到10⁻³托 (Torr) 之间。

应用: 适用于未镀膜的非导电样品、生物样品、湿润样品或含挥发性成分的样品。

优点: 减少或消除充电效应，并允许直接观察未处理的非导电样品。

2. 切换准备

检查样品类型: 在决定使用哪种模式之前，首先评估样品的特性（导电性、挥发性、结构敏感性等）。导电样品和结构稳定的样品通常使用高真空模式；而非导电、湿润或敏感样品则适合低真空模式。

样品固定: 无论使用哪种模式，确保样品牢固地固定在样品架上，以防在真空过程中发生移动或损坏。

3. 设备设置

进入高真空模式:

真空泵启动: 启动SEM的高真空泵（通常是涡轮分子泵或扩散泵），将样品室抽至高真空状态。

电子束设置: 在高真空模式下，电子束具有更高的穿透力，可以调整加速电压以优化分辨率和对比度。

检测器选择: 使用二次电子检测器（SE Detector）或背散射电子检测器（BSE Detector），适合于高真空模式下的成像。

切换到低真空模式:

控制真空度: 在控制界面选择低真空模式，系统会自动调节样品室的真空度至所需范围。此时，系统通常会引入适量的惰性气体（如氮气）来稳定样品环境。

电子束设置: 在低真空模式下，通常需要调整电子束电压以适应较低的真空度。低加速电压可以减少样品表面的充电效应。

检测器选择: 低真空模式通常使用专门设计的低真空二次电子检测器（LV-SE Detector）或气体辅助探测器，以应对低真空环境下的成像需求。

4. 切换过程中的注意事项

样品保护: 在切换真空模式时，确保样品不会因快速压力变化而受到损坏。某些样品在低真空环境下容易挥发或变质，需要特别注意。

真空环境稳定: 在切换至低真空模式后，确保真空环境稳定，避免真空波动影响成像质量。

成像参数调整: 每次切换真空模式后，都需要重新调整成像参数（如电子束电压、探测器设置等），以获得高质量图像。

5. 观察与成像

高真空模式成像: 由于高真空下的电子束更集中，成像过程中可以捕捉到更精细的样品结构。因此，高真空模式适合用于高分辨率成像。

低真空模式成像: 在低真空模式下，样品表面不会因充电效应而产生伪影，这使得它非常适合观察未处理的非导电样品。虽然分辨率可能稍低，但能够更真实地反映样品的表面特征。

6. 模式切换后的清洁与维护

设备清洁: 如果在低真空模式下使用了惰性气体或其他辅助气体，切换回高真空模式前，应检查并清洁样品室，防止残留气体影响高真空环境。

真空泵维护: 定期检查并维护真空泵，确保其在不同模式下的正常运行。特别是涡轮分子泵或扩散泵，需要保证其能够迅速达到预定的真空度。

以上就是泽攸科技小编分享的如何在扫描电镜中进行高真空和低真空模式切换。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。