在扫描电子显微镜（SEM）中，焦点合成（Focus Stacking）是一种提高图像景深的方法，特别适用于观察样品具有较大高度差的复杂表面。通过将多张不同焦点的图像合成为一张全焦点的图像，焦点合成技术可以显著增加图像的景深，从而让整个样品表面都处于清晰焦点内。

焦点合成的实现步骤

采集多张不同焦点的图像

调整焦点: 在SEM中，逐步调整样品的焦距，从近焦点到远焦点，依次拍摄多张图像。每张图像应该在不同的焦平面上，以涵盖样品表面的所有高度范围。

保持其他参数不变: 除了焦距以外，其他成像参数（如加速电压、探针电流、扫描速度等）应该保持不变，以确保图像的一致性。

图像叠加

使用专用软件: 将这些不同焦点的图像输入到焦点合成软件中进行处理。常见的图像处理软件，如Helicon Focus、Photoshop或专门的SEM控制软件，通常都具有焦点合成功能。

合成全焦点图像: 软件会自动分析每张图像中的清晰部分，并将这些部分叠加合成一张全焦点的图像。合成后的图像将显示出样品的全景深细节。

后处理

对比度和亮度调整: 合成后的图像可能需要适当调整对比度和亮度，以确保图像的细节和特征充分显现。

去除伪影: 如果在焦点合成过程中出现了伪影或其他不自然的细节，可以使用图像处理工具进行修正。

应用场景

焦点合成技术特别适用于以下几种应用场景：

高差较大的样品: 样品表面具有显著的高度差时（如微结构、颗粒表面、裂纹等），焦点合成能够帮助观察样品的结构。

复杂表面: 当样品表面复杂且需要整个表面都处于清晰焦点内时，焦点合成是理想的选择。

3D表面形貌分析: 焦点合成可以提供样品的景深图像，有助于后续的3D形貌分析。

优势

全景深图像: 通过焦点合成，用户可以获得全景深图像，清晰显示样品的所有细节。

减少焦距调整误差: 自动焦点合成软件减少了人为调整焦距带来的误差，确保图像质量一致性。

适应复杂样品: 适合高度差较大、表面复杂的样品，帮助科学家和工程师更好地分析样品特征。

注意事项

图像采集精度: 采集图像时，焦距调整需要准确，避免焦点范围过宽或过窄，这样才能确保合成图像的质量。

样品稳定性: 在采集不同焦点图像时，样品应保持稳定，避免任何移动，以免影响图像对齐和合成效果。

伪影处理: 合成后可能会出现由于焦点不一致或图像叠加不准引起的伪影，需要进行适当的图像处理。

以上就是泽攸科技小编分享的如何在扫描电镜中使用焦点合成提高景深。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。