在使用扫描电子显微镜（SEM）时，样品充电效应是一个常见问题，特别是在观察非导电材料时。充电效应会导致图像失真、对比度降低，甚至使观察变得困难。以下是一些处理样品充电效应的常见方法：

1. 涂层处理

对样品表面进行导电涂层处理，可以有效减少充电效应。

材料：常用的涂层材料包括金、铂、钯、碳等。

方法：使用溅射仪或蒸镀设备在样品表面沉积一层薄的导电材料。通常，涂层厚度在几纳米到几十纳米之间。

2. 降低加速电压

降低电子束的加速电压可以减少充电效应，因为较低的能量会减少电子在样品表面的积累。

方法：在SEM控制软件中，将加速电压设置为较低值，例如1-5 kV。

3. 使用环境模式（ESEM）

环境扫描电子显微镜（ESEM）允许在低真空或高压环境下进行成像。

原理：在样品腔中引入一定量的气体（如水蒸气或氮气），气体分子与电子束相互作用，帮助中和表面电荷。

优势：无需对样品进行导电涂层处理，适用于观察湿润或敏感样品。

4. 使用低电流束

降低电子束的电流可以减少样品表面的电荷积累。

方法：在SEM控制软件中，将束电流设置为较低值。

5. 使用导电胶或银浆

在样品和样品台之间使用导电胶或银浆，确保样品与样品台之间的良好导电接触。

方法：将导电胶或银浆涂在样品底部或边缘，然后将样品固定在样品台上。

6. 施加负偏压

在某些SEM中，可以对样品台施加负偏压，帮助中和样品表面的电荷。

原理：负偏压会吸引二次电子和其他电荷载体，从而中和样品表面的正电荷。

方法：在SEM控制软件中设置负偏压。

7. 样品预处理

一些样品可以通过预处理来减少充电效应。

烘烤：将样品在低温下烘烤一段时间，去除表面吸附的水分和气体。

清洗：使用溶剂或其他方法清洗样品表面，去除可能影响导电性的污染物。

8. 使用扫频电子束

采用扫频或波形扫描方式，均匀分布电子束，避免在单个区域积累过多电子。

方法：在SEM控制软件中设置电子束的扫描模式。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜如何处理样品充电效应的介绍。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。