扫描电子显微镜（SEM）本身主要用于表面形貌的高分辨成像，但它可以结合其他分析技术来进行成分分析。具体来说，SEM常与以下技术结合使用来测量样品成分：

1. 能量色散X射线光谱（EDS或EDX）

原理：当电子束轰击样品时，会激发样品中的原子并发射出特征X射线。每种元素发射的特征X射线具有特定的能量，这些能量可以被检测并用来确定样品中的元素组成。

用途：EDS可以定性和定量分析样品中的元素，通常用于检测从硼（原子序数5）到铀（原子序数92）之间的元素。

操作：将样品放置在SEM中，并使用电子束扫描表面。

检测和分析从样品发射的特征X射线，得到元素组成信息。

2. 波长色散X射线光谱（WDS）

原理：类似于EDS，但使用晶体光谱仪分离和检测特征X射线的波长，从而提供更高的能量分辨率和灵敏度。

用途：WDS用于更准确的元素分析，特别是对轻元素和相近元素的区分。

操作：在SEM中结合WDS检测器，进行元素分析。

3. 电子背散射衍射（EBSD）

原理：电子束与样品表面相互作用产生背散射电子，这些电子在晶体结构中衍射形成特征花样。通过分析这些花样，可以确定样品的晶体结构、取向和相组成。

用途：虽然EBSD主要用于晶体结构和取向分析，但它可以结合EDS或WDS进行成分分析。

操作：将样品置于SEM中，使用电子束扫描。

检测和分析背散射电子花样和X射线。

4. X射线荧光光谱（XRF）

原理：利用X射线激发样品，使其发射二次X射线（荧光X射线）。这些荧光X射线的能量与样品的元素组成有关。

用途：XRF可以定性和定量分析样品中的元素，适用于从钠（原子序数11）到铀（原子序数92）的元素。

操作：SEM中结合XRF检测器，进行元素分析。

SEM本身不能直接测量样品成分，但通过结合EDS、WDS、EBSD或XRF等技术，可以进行样品成分的定性和定量分析。这些技术使SEM不仅能够提供样品的高分辨成像，还可以提供丰富的成分信息，广泛应用于材料科学、地质学、生物学等领域。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜是否可以测成份的介绍。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。