扫描电镜放电需要喷金么
日期:2024-07-10
在扫描电子显微镜(SEM)成像过程中,样品放电(充电效应)是一个常见问题,特别是对于非导电性样品(如生物样品、聚合物、陶瓷等)。放电会导致图像质量下降,出现亮点、条纹等现象。因此,处理非导电样品时,喷金(或其他金属涂层)是常用的解决方法之一。
喷金的作用
喷金是一种通过在样品表面沉积一层导电金属(通常是金、铂或碳)的技术,以提高样品的导电性,减少充电效应,从而获得更清晰的SEM图像。
喷金步骤
准备样品:
确保样品表面干净、干燥。
将样品固定在样品台上,使用导电胶或碳胶带确保良好的导电接触。
设置喷金设备:
使用溅射镀膜仪或蒸发镀膜仪。
选择适当的靶材(金、铂或碳)。
设置参数,如电流、电压、沉积时间等。
进行喷金:
在真空环境中进行金属沉积,确保均匀覆盖样品表面。
控制涂层厚度,通常为几纳米到几十纳米,避免涂层过厚影响细微结构观察。
其他减少充电效应的方法
除了喷金,还有其他方法可以减少或避免充电效应:
低真空模式(环境扫描电镜,ESEM):
在低真空或环境气氛条件下操作SEM,允许一些气体(如水蒸气)存在,以中和电子束带来的电荷。
使用导电胶或碳胶带:
将样品固定在导电胶或碳胶带上,确保良好的电接触,减少充电效应。
低加速电压:
使用较低的加速电压(通常低于5 kV),减少电子束带来的电荷积累。
碳涂层:
使用碳涂层代替金属涂层,特别是在不希望金属涂层影响样品观察或分析的情况下。
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作者:泽攸科技
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