扫描电镜中的能谱分析，也称为EDS，是一种用于分析材料成分的技术。以下是扫描电镜中EDS的基本原理：

X射线产生： 扫描电镜中的电子束与样品相互作用时，会激发样品中的原子内部电子跃迁。当内部电子跃迁发生时，会产生辐射，其中包括X射线。

能谱采集： EDS系统使用能谱仪器来测量这些X射线的能量。能谱仪器通常由能量分辨率高的半导体探测器组成。当样品中的原子被激发时，每个元素都会发射特定能量的X射线。

元素识别： 每个元素都有独特的X射线能谱，因此通过测量X射线的能谱，可以确定样品中存在的元素种类及其相对丰度。能谱分析允许确定样品中的主要和痕量元素。

定量分析： EDS系统还可以提供相对浓度信息，使用户能够对不同元素的含量进行定量分析。这通常需要使用标准样品来校准系统。

ZEM20台式扫描电镜

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜中的EDS（能谱分析）原理。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。