扫描电镜的电子束束缚模式
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扫描电镜的电子束束缚模式,通常称为束缚模式(或束缚控制模式),是一种操作模式,用于控制电子束的运动以实现不同的成像和分析需求。这个模式允许调整电子束的聚焦、扫描速度、束团大小等参数。
电子束束缚模式的一些常见类型包括:
集中模式:在此模式下,电子束被聚焦到一个小的点上,通常用于高分辨率成像和微区分析。
扫描模式:电子束被聚焦成一个窄的束团,然后以一定的模式(例如线扫描或栅格扫描)移动,以获取整个样品的图像。
聚焦模式:这个模式用于调整电子束的聚焦以适应样品表面的不平整性。
标幅模式:用于选择和聚焦电子束以进行特定的分析,例如电子能谱分析(EDS)或电子衍射。
这些模式可以根据不同的扫描电镜类型和品牌而有所不同,但它们允许操作员根据具体需求来调整电子束的参数,以获得所需的成像和分析结果。
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作者:泽攸科技