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扫描电镜样品的导电性对成像参数有何影响

日期:2023-10-17

扫描电镜(SEM)中样品的导电性对成像参数有重要影响。SEM成像原理涉及向样品表面发射电子束,然后测量从样品表面反射或散射回来的电子,从而生成图像。导电性主要影响以下几个方面:

电荷积累和放电:对于非导电样品,当电子束照射表面时,电荷可能会在样品表面积累。这种电荷积累可能会导致图像中的伪影,例如辉光或充电环。导电性较差的样品更容易积累电荷。为了避免这种问题,通常需要对非导电样品进行导电性处理,如涂覆导电性薄膜。

电子逸出效率:导电样品通常能够更有效地将从电子源发射的电子束散射回到检测器,从而获得更强的信号。非导电样品可能会导致信号较弱,需要更长的曝光时间,或者图像质量较差。

分辨率:导电性样品有助于获得更高的分辨率,因为电子能更容易地穿透样品并提供更详细的信息。非导电样品可能会限制分辨率,因为电子束与样品相互作用较强。

因此,样品的导电性在扫描电镜成像中是一个重要因素。对于非导电样品,通常需要采取措施来提高其导电性,以获得更好的图像质量和准确的分析结果。这可以通过涂覆导电性薄膜、金属喷雾涂层、导电粘贴剂或碳涂层等方法来实现。

扫描电镜

ZEM18台式扫描电镜

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作者:泽攸科技