如何避免样品在扫描电镜中受到辐射损伤?
日期:2023-10-10
要避免样品在扫描电镜(SEM)中受到辐射损伤,可以采取以下措施:
使用适当的工作距离:将电子束与样品之间的工作距离保持在较远的范围内。增加工作距离可以减少电子束对样品的辐射。
降低电子束电流:减少电子束的电流,以降低能量输入,从而减少样品的辐射损伤。
使用低电子束能量:选择较低的电子束能量,通常在1-5千伏之间,以减少电子束的穿透能力。
使用样品导电涂层:在非导电样品上涂覆薄薄的导电涂层,如金属薄膜,以提高导电性,减少充电效应。
控制扫描速度:降低扫描速度可以减少每个像素点的电子束暴露时间。
适当的冷却:对于易受热损伤的样品,可以考虑在SEM操作期间使用样品冷却系统,以减小样品温度。
限制分析时间:在分析中尽量减少电子束的暴露时间,避免过长时间的扫描。
使用低真空模式:在SEM中使用低真空模式可以减少电子束对样品的辐射损伤,因为低真空条件下电子与气体分子相互作用较少。
优化SEM参数:根据具体的样品和分析需求,优化SEM参数,以降低电子束对样品的影响。
进行先行实验:在正式实验之前进行一些试验性的SEM操作,以确定合适的参数,以减少样品的损伤。
定期检查样品:定期检查样品,确保没有明显的损伤或变化。
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作者:泽攸科技