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如何在扫描电镜中准备和处理样品?

日期:2023-09-22

在扫描电镜(SEM)中准备和处理样品是确保获得高质量图像和准确数据的关键步骤。以下是一般的样品准备和处理步骤:

样品选择: 首先,您需要选择适合SEM观察的样品。样品通常应具有导电性或需要导电性涂层,因为电子束需要与样品表面相互作用才能产生图像。

样品固定: 样品需要在观察期间保持固定,以防止运动或振动影响图像质量。样品可以使用适当的夹具、支架或胶粘剂固定到样品台上。

导电性涂层: 如果样品本身不导电,您可能需要对其进行导电性涂层。通常使用金属涂层(如金或铂)或碳涂层,以确保电子束可以通过样品并产生清晰的图像。

样品切割和磨削: 如果样品过大或太厚,可能需要切割或磨削以获得所需的形状和厚度。这通常需要使用适当的切割工具和磨削设备。

样品干燥: 样品在进入SEM之前须保持干燥,以防止水分对电子束产生干扰。使用气体流、真空或化学方法来去除任何残留的水分。

金属涂层: 如果需要,可以将样品表面涂覆薄薄的金属层。这有助于提高导电性和图像质量。

安装样品: 样品准备好后,将其小心地安装到SEM样品台上,并确保固定牢固。

真空抽取: SEM需要在真空环境中操作,因此须抽取空气,以确保电子束不会与气体分子发生碰撞。在SEM中建立所需的真空需要时间,通常需要一段预热时间。

参数设置: 在开始图像采集之前,需要根据样品的特性和实验目的调整SEM的参数,包括加速电压、电流、对焦和扫描速度。

图像采集: 一旦样品准备和SEM参数设置完成,就可以开始采集图像。可以选择不同的检测模式,如二次电子成像或反射电子成像,以获取不同类型的信息。

数据分析: 处理和分析获得的SEM图像和数据,以满足您的研究或分析目的。

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作者:泽攸科技