扫描电子显微镜（SEM）中的电子束是通过以下步骤生成和控制的：

电子源： SEM的核心部件之一是电子源，通常使用热阴极或场发射电子枪。热阴极通过加热材料（通常是钨丝）来发射电子，而场发射电子枪则通过应用高电场使电子从头部发射。这些电子源会释放能量较低的电子，然后将它们聚焦成束。

电子束聚焦： 一旦电子被释放，它们经过一系列的电磁透镜来聚焦成细束。聚焦是SEM中至关重要的一步，它决定了图像的分辨率和清晰度。主要的透镜包括电子透镜、凸透镜和阿贝透镜。

电子束探针： 电子束进一步聚焦后，成为一个电子束探针。这个探针可以探测样品表面的物理性质，例如电子反射和散射。

电子束扫描： 电子束可以通过透镜和扫描线圈进行水平和垂直方向的准确移动，从而扫描整个样品表面。这种扫描方式是SEM图像生成的基础，它使得SEM能够获得样品的表面拓扑和形貌信息。

信号检测和图像生成： 当电子束与样品表面相互作用时，它们会引发多种信号，包括二次电子、反射电子、散射电子等。这些信号被探测器捕获并转换成电子图像。不同的探测器用于不同类型的信号，例如二次电子探测器用于表面拓扑成像。

电子束控制： SEM允许用户控制电子束的参数，例如电子束能量、电流、聚焦、对准等。这些参数可以根据不同样品和实验要求进行调整。

ZEM20台式扫描电镜

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