扫描电镜（SEM）中的电子探针和能量色散分析（EDS）是用于获取材料样品化学成分和表面拓扑信息的重要技术。以下是它们的工作原理和应用：

电子探针（Electron Probe）： 电子探针是扫描电镜中的一种技术，通过聚焦电子束在样品表面产生的相互作用来获取有关样品的信息。这些相互作用包括以下几个方面：

二次电子发射（Secondary Electron Emission）： 当高能电子束击中样品表面时，会产生二次电子发射。这些二次电子可以用于生成高分辨率的表面拓扑图像。

散射电子（Backscattered Electrons）： 部分电子束被样品的原子核散射回来，形成散射电子图像。散射电子图像提供了样品的组成信息，通常与样品中的原子数量成正比。

X射线发射（X-ray Emission）： 电子束与样品相互作用时，激发了内部原子的电子，导致它们跳跃到更高能级，然后回到基态时发射X射线。这些X射线具有特定的能量，可以用于识别样品中的元素。

能量色散分析（EDS）： 能量色散分析是一种用于确定样品化学成分的技术，它通常与扫描电镜一起使用。它的工作原理如下：

X射线检测： 当电子束与样品相互作用并激发内部原子时，样品会发射X射线。这些X射线具有不同的能量，与被激发的元素有关。

X射线能量分析： EDS系统使用能量分散仪来测量X射线的能量。不同元素的X射线具有不同的能量特征，因此可以根据X射线的能谱确定样品中的元素。

定量分析： 通过比较测得的X射线能谱与已知元素的标准库，可以定量分析样品中的元素含量。这可以用来确定元素的百分比和相对浓度。

ZEM18台式扫描电镜

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