扫描电镜的成像机制是什么?
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扫描电子显微镜是一种强大的显微镜,可以通过电子束而不是光束来成像样品表面的微观结构。其成像机制涉及以下几个关键步骤:
电子源产生电子束: SEM使用一个电子枪来产生高能电子束。在电子枪中,热丝被加热,产生电子,然后由电场聚焦形成一个细束。
聚焦电子束: 产生的电子束被聚焦成一个细小的束,类似于光学显微镜中的焦点。
样品表面的激发和信号发射: 当电子束照射到样品表面时,样品表面的原子会被电子击中,导致电子从样品中被排出。这些击出的电子分为两种类型:
次级电子(SE): 这些电子是从样品表面的外层排出的。它们提供了关于样品表面拓扑和形状的信息。
反射电子(BSE): 这些电子是从样品内部击出的,并受到不同能量的束撞离。它们提供了有关样品的组成和密度的信息。
信号收集和检测: 次级电子和反射电子被收集并发送到探测器中进行检测。次级电子探测器和反射电子探测器是两种常用的探测器类型。
扫描样品表面: SEM通过在样品表面上进行扫描,移动电子束,以获取样品不同区域的信息。这个过程产生了一个逐点的图像,可以形成样品的表面图像。
成像和显示: 收集到的信号被转换为图像,可以在显示屏上观察。图像的亮度或颜色通常用来表示样品表面的特征和性质。
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作者:泽攸科技