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台式扫描电镜的样品旋转和倾斜功能如何影响成像结果?

日期:2023-08-28

台式扫描电子显微镜(SEM)通常具有样品旋转和倾斜功能,这些功能可以对成像结果产生影响。下面是关于这些功能如何影响成像结果的一些信息:

样品旋转功能:

多角度观察: 样品旋转功能允许你从不同的角度观察样品表面。通过观察样品的不同侧面,可以获取更全的信息,揭示样品的三维形貌。

图像对比: 旋转样品可以帮助你获取不同角度下的图像,从而使得对比更加明显。特别是在表面有微小结构或特征时,从不同角度观察可以揭示更多细节。

深度信息: 样品旋转可以提供关于表面高度、凹凸等结构的深度信息。在分析微小的拓扑特征时,旋转功能可以增加数据的可靠性。

样品倾斜功能:

透视效果: 样品倾斜可以赋予图像以透视效果,从而使得样品表面的三维结构更加清晰可见。

视野变大: 倾斜样品可以使得局部细节更容易被观察,尤其是对于突出的特征或结构。

避免充电效应: 倾斜样品可以改变电子束的入射角度,从而有助于减轻充电效应,提高成像质量。

需要注意的是,样品旋转和倾斜功能可能会对成像过程中的操作和参数设置产生一些影响:

深度对焦: 在使用样品旋转和倾斜功能时,需要注意调整深度对焦,以确保观察到的图像在整个深度范围内都清晰可见。

信号强度: 样品倾斜和旋转可能会影响电子束与样品之间的距离,从而影响信号的强度。需要适当调整电子束参数。

图像处理: 在分析旋转或倾斜图像时,可能需要进行额外的图像处理,如去除透视畸变、校正尺寸等。

ZEM20台式扫描电镜

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作者:泽攸科技