在扫描电镜成像过程中，像差是指由于透镜系统的电子光束的特性而引起的图像失真或模糊。像差会影响图像的分辨率、对比度和清晰度，限制了SEM的成像能力。以下是一些常见的像差类型和其对SEM图像的影响：

球差： 球差是透镜的曲率不一致性引起的像差，导致电子束在不同位置聚焦于不同的焦点。这会导致图像的模糊和畸变，特别是在图像的边缘部分。

色差： 色差是由于电子束在透镜中经过不同的路径而引起的，导致不同能量的电子聚焦位置不同。这可能导致不同颜色的电子在样品上产生不同的焦点，影响分辨率和图像清晰度。

几何像差： 几何像差包括像场弯曲、畸变和坐标偏差等，导致图像的几何形状与实际样品形状不匹配。

像差校正： SEM系统通常会进行像差校正，以尽可能减少像差对图像质量的影响。一种常见的校正方法是通过使用透镜补偿器件（C 余差改正棒）来补偿不同透镜的球差。此外，还可以通过调整透镜的电压和参数来优化成像。

球差对焦： 在一些情况下，特别是在高分辨率成像中，可以利用球差的性质来实现不同焦点的成像，从而获得更多信息。这称为球差对焦技术。

ZEM15台式扫描电子显微镜

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜中的像差。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。