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扫描电镜中的成像参数调节方法有哪些?

日期:2023-08-16

在扫描电镜中,调整成像参数可以影响图像的分辨率、对比度、深度和样品表面的细节显示。以下是一些常见的SEM成像参数,以及调节方法:

电子束电流: 电子束电流控制了在样品表面聚焦的电子数量。增加电子束电流可以增强信号,但可能也会损伤样品表面。降低电子束电流可以延长样品的寿命。根据需要,您可以逐步调整电子束电流。

加速电压: 加速电压影响了电子束的能量,从而影响电子束的穿透能力和成像深度。较高的加速电压可以提高分辨率,但也可能引起样品损伤。较低的加速电压适用于表面成像。调整加速电压时要考虑分辨率和样品表面状况。

工作距离: 工作距离是指电子枪尖和样品表面之间的距离。较大的工作距离可以提供更大的深度焦平面,但可能降低分辨率。较小的工作距离可以提高分辨率,但需要小心避免样品损伤。

探测器类型和信号检测: SEM通常使用二次电子(SE)和反射电子(BSE)来获得图像。选择不同类型的探测器可以获得不同的信息。例如,SE可以显示样品表面形貌,而BSE对样品成分更敏感。

扫描速度和区域: 调整扫描速度可以影响图像的获取时间和质量。较快的扫描速度可能导致较低的图像质量。选择适当的扫描区域可以获得所需的信息,同时减少成像时间。

像素时间和图像采集: 调整像素时间可以影响图像的信噪比。较长的像素时间可以提高信号质量,但会延长成像时间。

真空度和样品处理: 确保SEM室内的适当真空度可以获得清晰的图像。样品的表面处理和涂层也可能影响成像质量。

照明角度: 在一些情况下,调整电子束的入射角度可以改变样品表面的显示特征。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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作者:泽攸科技