扫描电镜如何生成样品的表面形貌图像
日期:2023-08-07
扫描电镜(SEM)通过以下步骤生成样品的表面形貌图像:
样品制备: 首先,需要将样品制备成适合在SEM中观察的形态。样品应该是坚硬、平整、干净的,并且可能需要进行导电涂层以减少电荷积累效应。
真空系统准备: SEM操作需要在高真空环境中进行,以避免电子束与气体相互作用。因此,需要启动真空泵以将SEM系统的压力降低到适当的真空级别。
样品安装: 将样品安装在SEM的样品台上。样品台通常具有可调节的XY台移动功能,以便将样品表面映射到电子束的扫描区域。
电子束准备: 启动电子束并设置适当的电子束参数,如加速电压、聚焦、亮度等。这些参数将影响电子束的性质和聚焦效果。
扫描和成像: 将电子束扫描在样品表面上。在扫描过程中,电子束与样品表面的不同区域相互作用,产生次级电子(SE)和反向散射电子(BSE)等信号。这些信号会被探测器捕获。
信号采集和处理: 探测器捕获次级电子和反向散射电子等信号,并将其转化为电信号。这些信号被处理并送入图像显示系统,形成黑白图像或灰度图像。
图像显示和获取: 处理后的信号被送入图像显示器,显示出样品表面的图像。图像可以是灰度图像,其中不同灰度值对应于样品表面的不同高度或特性。
图像分析: 获取的图像可以通过图像分析软件进行进一步处理和分析。可以进行像素分析、轮廓提取、粒径分析、形貌分析等操作,以获取关于样品表面形貌和特性的更多信息。
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作者:泽攸科技