在扫描电镜（SEM）中，高真空环境对样品会产生多方面的影响，这些影响可能对样品的表面形貌、化学性质以及电子束与样品的相互作用产生影响。以下是高真空环境对样品的主要影响：

样品脱气： 在高真空环境中，样品表面的气体分子会逐渐被抽取出来，导致样品表面发生脱气现象。这可能导致样品尺寸的微小变化，以及可能的形貌变化。脱气过程需要一定的时间，因此在获取图像之前需要充分的脱气时间。

样品电荷积累： 由于高真空环境中电子束与样品相互作用，样品表面可能会积累电荷。这可能导致图像的背景噪声或产生伪影。为了减少电荷积累效应，通常会使用导电涂层或金属涂层来提供电子束的导电通路，从而降低电荷积累。

气体解析度： 高真空环境减少了气体分子的存在，这有助于减少电子束与气体分子的相互作用。这提高了样品的解析度和成像质量，因为电子束不会与气体分子碰撞并散射。

表面清洁度： 高真空环境可以避免大气中的污染物进入SEM系统，因此在样品观察时，可以更好地保持样品表面的清洁度。这对于研究表面形貌和结构非常重要。

样品热效应： 在高真空环境中，样品与电子束的相互作用可能会引起局部加热，这可能会影响样品的性质。特别是在高放大倍数下，电子束的局部加热可能会对样品表面产生微小的形变。

图像稳定性： 高真空环境有助于保持扫描电镜系统的稳定性，从而在图像采集过程中减少外部干扰，保证图像质量和可重复性。

ZEM18台式扫描电镜

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