扫描电镜（SEM）通过对电子束进行聚焦和定位来实现高分辨率的显微观察。控制电子束的聚焦和定位主要涉及磁透镜系统和样品扫描控制。

电子束聚焦： SEM中的电子束聚焦主要是通过磁透镜系统来实现的。这些磁透镜系统包括透镜和除焦磁铁等元件。当电子束通过透镜系统时，透镜会对电子束进行聚焦，使其在样品表面形成一个小的聚焦点。透镜系统中的电流或电压可以调节，从而控制电子束的聚焦效果。聚焦后的电子束能够提供更小的束斑（beam spot），从而获得更高的分辨率。

电子束定位：电子束的定位是指将电子束准确地定位在样品的不同区域。这是通过控制样品台的运动来实现的。样品台可以在水平和垂直方向上进行微小的运动，使得电子束可以扫描在样品表面的不同区域。通过控制样品台的运动，可以将电子束定位在特定的样品区域，从而实现对不同区域的观察和分析。

SEM中的电子束聚焦和定位通常由计算机控制系统来实现。操作者可以通过计算机界面调整电子束的聚焦和定位参数，从而实现所需的观察和分析。通过对电子束进行准确的聚焦和定位，SEM可以提供高分辨率和高精度的显微观察，并在样品表面获取丰富的信息。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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