扫描电子显微镜是一种高分辨率显微镜，它使用电子束而不是光束来成像样本的表面。以下是SEM的工作原理和成像方式：

工作原理：

电子源： SEM使用电子枪产生高能电子束。电子束可以通过热阴极或场发射阴极产生。

电子聚焦： 电子束经过一系列的透镜系统进行聚焦，类似于光学显微镜中的透镜。这样可以使电子束变得更为聚焦和细致。

样本交互： 聚焦后的电子束被聚集在一个极小的尖部，然后通过样本表面扫描。电子束与样本中的原子和表面结构发生相互作用。

成像方式：

二次电子成像（SE成像）： 当电子束扫描样本表面时，与样本表面发生相互作用的电子被称为二次电子。这些二次电子的产生受到样本表面形状和组成的影响。二次电子的信号被收集，并用于生成样本表面的灰度图像，其中亮度与样本表面的特征和凹凸程度相关。SE成像提供高表面细节的图像。

反射电子成像（BSE成像）： 在样本表面的原子之间，电子束还与样本中的原子核相互作用。这些与原子核相互作用的电子被称为反射电子。BSE成像侧重于收集反射电子而不是二次电子。由于反射电子与样本的原子序数有关，BSE成像在区分不同元素的分布和成分上很有用。

能谱分析（EDS成像）： 在SEM中，还可以使用能谱分析技术（EDS）来确定样本的化学成分。当高能电子束与样本表面相互作用时，它会激发样本中的原子，导致它们释放出特征性X射线。EDS探测器可以捕捉这些X射线，并根据它们的能量来确定样本的化学组成。

ZEM18台式扫描电镜

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜的工作原理和成像方式。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。