在扫描电镜（SEM）中，电荷积累和图像失真是常见的问题。下面是一些处理样品的方法，以避免电荷积累和图像失真：

样品制备：

样品应尽可能干燥，避免含有水分。水分会导致电子束发生散射并引起电荷积累。

对于非导电样品，可以使用导电涂层（如金或碳）覆盖样品表面，以提高导电性并减少电荷积累。

适当的真空条件：

确保SEM处于适当的真空条件下工作，以减少电子束与气体分子的相互作用。

使用真空泵和减压系统来维持恰当的真空水平。

优化扫描参数：

选择合适的加速电压和探针电流，以避免电子束过强或过弱，从而减少电荷积累。

调整扫描速度和图像积分时间，以避免过长的扫描时间造成电荷积累。

动态扫描模式：

使用动态扫描模式（如线性扫描或随机扫描）而非静态扫描模式，可以减少电荷积累的影响。

动态扫描模式在每个像素位置上停留的时间较短，减少了电子束在样品表面停留的时间，从而减少电荷积累。

降低电子束能量：

对于某些样品，尤其是具有低导电性或易受损的样品，可以降低电子束的能量。较低的能量会减少电子束的穿透能力，降低电荷积累和图像失真的风险。

清洁样品表面：

在样品放入SEM前，确保样品表面清洁，无尘、无油和无杂质。尽量避免使用粘性胶带等粘附物。

优化图像采集：

在采集图像时，使用适当的图像参数，如对比度、亮度和增益，以获得清晰的图像并降低图像失真。

ZEM15台式扫描电子显微镜

以上就是泽攸科技小编分享的如何处理扫描电镜样品以避免电荷积累和图像失真。更多扫描电镜信息及价格请咨询15756003283(微信同号)。