在扫描电镜（SEM）中，为了避免或减少样品受到电子束的损伤，可以采取以下措施：

适当选择加速电压和电子束流密度：选择适当的加速电压和电子束流密度以避免对样品造成过大的损伤。通常，使用较低的加速电压和较小的电子束流密度可以减少对样品的损伤风险。

控制扫描时间和扫描区域：限制电子束在样品上的停留时间和扫描区域，以减少局部的热和电荷积累。可以采用较快的扫描速度和较小的扫描区域，避免在同一位置停留过久。

降低电子束能量：在某些情况下，降低电子束能量可以减少电子束与样品之间的相互作用，从而减少损伤的风险。不过，这可能会对图像的分辨率和对比度产生一定影响，需要权衡考虑。

使用低温技术：对于某些样品，如生物样品或热敏感材料，可以采用低温技术，如冷冻或低温固化，以减少样品受到的热损伤。

控制电子束和样品之间的工作距离：保持适当的工作距离可以减少电子束与样品之间的相互作用，减少能量传递和样品损伤的风险。根据SEM仪器的要求和样品性质，调整样品的位置和仪器的参数。

适当的样品预处理：在进行SEM观察之前，对样品进行适当的预处理，如表面清洁、涂覆保护层或使用导电涂层等。这有助于减少电子束与样品之间的相互作用和损伤风险。

限制电子束曝光时间：尽量避免样品长时间暴露在电子束下，特别是在高电流密度下。可以在观察期间定期切换观察区域，以减少局部热积累和损伤。

以上措施的选择和实施应根据具体样品的特性、仪器的要求和应用的目的来确定。同时，建议参考SEM仪器的操作手册和制造商的建议。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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