台式扫描电镜制样关键点
日期:2023-05-09
台式扫描电镜是一种常用的材料表征技术,其制样质量是影响SEM观察结果的关键因素之一。以下是扫描电镜制样的关键点:
样品准备:SEM制样之前需要对样品进行处理和准备。不同的样品类型需要采用不同的处理方法,例如金属样品需要抛光和电解抛光,生物样品需要进行固定和切片等处理。在样品准备过程中,应注意避免引入外来杂质和污染物,以及对样品形态和结构的破坏。
样品固定:将样品固定在制样支撑物上。常用的制样支撑物包括碳膜、网状金属片、铜网等,应根据样品类型和分析需求选择合适的支撑物。在固定样品的过程中,应避免强烈的机械冲击和温度变化,以避免样品形态和结构的改变。
制备薄膜:在样品固定后,需要将其制备成薄膜以便于SEM观察。制备薄膜的方法有多种,例如剪切法、分散法、溅射法等。制备薄膜时需要控制薄膜厚度和均匀性,避免出现重叠、开裂、变形等情况。
涂覆导电层:SEM需要在真空环境下进行观察,因此需要涂覆导电层以便于电子传导。常用的导电层有碳膜、金属膜等。涂覆导电层时应注意导电层厚度和均匀性,以避免影响SEM观察的精度和清晰度。
SEM参数设置:SEM参数设置对SEM观察结果的影响很大。在设置SEM参数时,需要根据样品类型、制备方法和分析需求等方面综合考虑,调整电子束的加速电压、聚焦、放大倍数、扫描速度等参数,以获得高清晰度、高对比度的SEM图像。
制备SEM样品需要掌握多种技术和操作方法,对样品的选择、处理、固定、制备、涂覆导电层和SEM参数设置等方面都需要注意细节和标准化操作,以保证SEM观察结果的准确性和可重复性。
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作者:泽攸科技