扫描电镜（SEM）样品的大小要求因所需观察的特定特征而异，但通常样品大小应大于或等于数毫米，并且足够薄以透过电子束。将样品固定在一个具有导电性的基底上，例如金属或碳涂层的载玻片。

SEM观察需要样品表面光滑，因此在样品制备过程中，应避免样品的物理和化学处理对样品表面造成损伤。对于高分辨率的SEM观察，样品的表面几乎应该是完全平坦的，并且不应该有任何粗糙的纹理或凸起物。在制备SEM样品时，还应避免样品表面的氧化或污染，因为这些都会干扰电子束的传播并损害成像质量。

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