扫描电镜（Scanning Electron Microscope, SEM）的信号采集类型通常包括以下几种：

二次电子（SE）信号：这是SEM中常用的信号类型。当电子束扫描到样品表面时，样品表面的物质会发射出二次电子，这些电子经由检测器采集并转换成图像，用于观察样品的形貌和表面特征。

反射电子（BE）信号：当电子束扫描到样品表面时，部分电子会被样品表面的物质反射回来，形成反射电子信号。反射电子信号主要用于观察样品的组成和晶体结构。

散射电子（BSE）信号：当电子束与样品相互作用时，一部分电子会被样品内部物质散射出来，形成散射电子信号。散射电子信号主要用于观察样品的组成和晶体结构，具有较强的深度信息。

透射电子（TE）信号：在一些特定的SEM配置中，可以通过加入透射电子探测器，采集样品内部的透射电子信号，从而获得样品的透射电子显微图像，用于观察样品的内部结构和组成。

需要注意的是，不同类型的信号在SEM中的采集方式和检测器配置可能会有所不同，具体的信号采集方式和检测器配置会根据SEM设备的型号、厂商以及研究目的而有所差异。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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