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什么是扫描电镜制样冷台法

日期:2023-04-25

扫描电镜制样冷台法是一种用于制备样品以进行扫描电镜(SEM)观察的方法,其中样品在制备过程中通过使用冷却台或冷冻介质来保持较低的温度,以减少电子束辐照引起的热损伤。

扫描电镜(SEM)是一种高分辨率的显微镜技术,可以通过扫描样品表面并检测从样品表面反射、散射或二次电子发射而得到的电子信号,从而获得高分辨率、高对比度的样品表面形貌和微观结构信息。

在传统的SEM样品制备方法中,常常需要对样品进行涂覆导电薄膜、离子抛光等步骤,这可能会引起样品在制备过程中的热损伤,导致样品表面形貌和结构信息的失真。而扫描电镜制样冷台法通过使用冷却台或冷冻介质,将样品的温度降低到较低的温度,从而减少了电子束辐照引起的热效应,有助于保持样品表面的形貌和结构信息的完整性。

扫描电镜制样冷台法的具体步骤通常包括将样品放置在冷却台或冷冻介质中,降低样品温度到较低的温度,然后进行样品的表面处理,如离子抛光、涂覆导电薄膜等,之后将样品安装到SEM中进行观察和图像获取。不同的冷台法制样方法可能有不同的操作步骤和参数设置,具体的操作需要根据样品性质和实验条件进行调整。

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作者:泽攸科技