扫描电镜样品溅射喷金流程
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扫描电镜(SEM)样品的溅射喷金方法是一种常用的制备非导电样品的方法,它通过在样品表面喷涂一层金属涂层,从而提高样品的导电性,使其适用于SEM观察。以下是一般的溅射喷金步骤:
样品准备:将非导电粉末样品固定在SEM样品支持体上,例如SEM标准样品台或导电胶片等。样品支持体应干净、平整,并且能够在SEM观察中保持稳定的形态。
清洗样品:在进行溅射喷金之前,应对样品进行清洗,以去除可能存在的油脂、灰尘、污染物等,以确保金属涂层与样品表面的良好结合。常用的清洗方法包括超声波清洗、溶剂清洗等。
溅射喷金:将金属靶材(如金、铂、铜等)放置在溅射喷金仪中,并在真空环境下进行溅射。通过在金属靶材上施加高电压,从而使金属离子离开靶材表面,经过加速并击中样品表面,形成金属涂层。
控制溅射参数:在溅射喷金过程中,应根据具体的SEM样品和金属靶材的性质,控制溅射参数,如电压、电流、溅射时间等,以获得所需的金属涂层厚度和均匀性。
检查涂层:溅射喷金完成后,可以使用显微镜等方法检查金属涂层的质量,包括涂层的均匀性、致密性等。如有需要,可以根据需要进行后续处理,如退火、退火等,以改善涂层性质。
溅射喷金涂层的厚度应根据具体样品和SEM观察需求来选择,过厚的涂层可能会影响SEM观察的分辨率和样品表面形态。因此,在制备过程中,应仔细控制溅射参数,以获得高质量的金属涂层。
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作者:泽攸科技
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