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扫描电镜可以分析样品成分吗?

日期:2023-03-01

扫描电镜SEM可以通过能谱仪(EDS)来对样品的成分进行分析。EDS是一种通过测量样品表面上散射的X射线来确定样品中元素组成的技术。它可以用于分析几乎所有的元素,包括轻元素如碳、氧、氮等,以及重元素如金属和半金属元素。

EDS分析的步骤如下:

在SEM中选择合适的工作条件,使得电子束能够穿透样品并产生X射线。

将EDS探测器置于样品表面上,以便探测样品表面散射的X射线。

当电子束轰击样品表面时,样品中的原子会被激发并产生X射线。不同元素的原子产生的X射线能量不同,因此可以通过测量X射线的能量来确定样品中元素的组成。

EDS探测器收集散射的X射线并将其转换成电信号,这些信号被送入电子学放大器和分析器中进行处理。

分析器将信号处理成能谱图,能谱图上显示了样品中各元素的信号强度和能量。通过与已知标准物质的能谱比对,可以确定样品中元素的组成。

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作者:泽攸科技