扫描电镜（SEM）是一种高分辨率显微镜，它使用电子束而不是光束来照射样品，并通过收集从样品表面反射、散射或发射的电子来生成图像。以下是扫描电镜的工作原理的简要描述：

电子束发射：SEM通过电子枪产生高能电子束。电子枪通常由热阴极和加速电极组成。热阴极加热产生的热电子被加速电极加速，形成高能电子束。

高真空环境：样品室被保持在高真空状态，以避免电子束与气体分子相互作用。高真空有助于保持电子束的稳定性，并减少电子与空气分子的相互散射。

样品照射：高能电子束经过调制和聚焦后，照射到样品表面。电子束的高能量使得它可以穿透样品表面的较浅层，与样品发生相互作用。

信号收集：当电子束与样品相互作用时，会产生多种信号。常见的信号包括：次级电子（SE）、反射电子（BSE）以及特殊的信号检测器如能量散射谱仪（EDS）和电子背散射衍射仪（EBSD）。

信号检测和图像生成：SEM使用探测器收集和测量由样品表面发出的不同信号。这些信号被转化为电信号，并通过信号处理和放大后转换为图像。

图像显示和分析：通过电子束的扫描和信号的检测，SEM生成高分辨率的表面图像。这些图像可以在显示屏上进行实时观察和分析，以获取样品的形貌、结构和成分信息。

ZEM15台式扫描电子显微镜

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜是如何工作的。更多扫描电镜信息及价格请咨询15756003283(微信同号)。