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如何通过扫描电镜测量和分析颗粒的尺寸和形状

日期:2023-05-26

通过扫描电镜(SEM)可以测量和分析颗粒的尺寸和形状。以下是一般的步骤和方法:

样品制备:准备包含颗粒的样品,并确保样品表面平整、干燥和导电性良好。可以使用不同的方法,如离心沉淀、沉积、过滤或喷涂等来制备样品。

样品固定:将样品固定在SEM样品支架上,通常使用导电性的双面胶或导电性碳胶将样品粘贴在支架上,以确保样品与SEM中的电子束良好接触。

调整参数:根据样品的性质和需求,调整SEM的参数。这包括选择适当的电子加速电压、工作距离和电子束的聚焦等。

扫描图像:通过SEM获取颗粒的扫描图像。选择合适的放大倍数和扫描速度,使用电子束扫描样品表面,生成高分辨率的图像。

计算尺寸和形状:使用图像处理软件或SEM设备自带的分析工具,对颗粒的图像进行处理和分析。以下是常用的方法:

直接测量:在图像中使用测量工具,手动测量颗粒的直径、长度、宽度等参数。

阈值分割:通过设定阈值,将图像中的颗粒与背景区分开,然后进行形状分析,如圆度、长宽比等。

数据统计和分析:对测量的颗粒尺寸和形状数据进行统计和分析。可以计算平均尺寸、尺寸分布、形状参数等,并生成统计图表或报告。

需要注意的是,准确测量和分析颗粒的尺寸和形状需要一定的经验和合适的样品制备。还要注意样品表面的充电效应和电子束对样品的热损伤等因素可能对结果产生影响。因此,在进行测量和分析时,应遵循合适的操作方法和仪器使用指导,并进行多次重复测量以确保结果的可靠性和准确性。

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作者:泽攸科技