扫描电镜（SEM）使用高能电子束与样品相互作用，因此加速电压是扫描电镜中非常重要的参数之一。

加速电压指的是电子束在扫描电镜中加速的电压。在SEM中，电子束从电子枪发射出来后，通过一系列的透镜和偏转器，被聚焦成一个小点，并在样品表面扫描。扫描电子束与样品相互作用，产生二次电子、反射电子、散射电子、X射线等不同的信号，这些信号被探测器接收并转化为图像。

加速电压的作用包括：

影响电子束的能量和速度：加速电压越高，电子束的能量和速度越大，电子束穿透样品的深度也越深，从而影响图像的分辨率和对样品的破坏程度。

影响图像的对比度：加速电压对图像的对比度有很大的影响。在低加速电压下，电子束与样品表面相互作用时，产生的二次电子信号相对强烈，从而提高图像的对比度。

影响EDS分析结果：在EDS分析中，加速电压对激发X射线的能量和强度有很大的影响，因此须根据样品的性质和所需的分析结果来选择合适的加速电压。

因此，选择合适的加速电压是SEM中非常重要的一个参数，需要根据样品的性质和所需的分析结果来确定。

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