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扫描电镜与光学扫描电镜区别

日期:2023-04-25

扫描电镜(SEM)和光学扫描电镜(OSEM)是两种常用于材料科学、生物科学等领域的显微镜,它们有以下几点区别:

原理:SEM利用电子束和样品之间的相互作用,如样品表面与电子束之间的反射、散射和二次电子发射等,来获取图像信息。而OSEM则是在SEM的基础上,通过在SEM中加入透射光学系统,使得可以同时获得透射光学和扫描电镜图像。

分辨率:SEM通常具有比光学显微镜更高的分辨率,可以观察到更小尺寸的细节。SEM的分辨率通常在纳米级别,而光学显微镜的分辨率通常在微米级别。

可观察的样品类型:SEM适用于观察各种类型的样品,包括无机材料、有机材料、生物样品等,而OSEM则主要用于生物样品的观察,如细胞、组织等。

采集的信号类型:SEM主要采集来自样品表面的二次电子、反射电子、散射电子等信号,从而获得样品表面的形貌和组成信息。而OSEM除了可以获得类似SEM的图像信息外,还可以通过透射光学系统获取样品内部的透射光学图像。

准备样品的要求:由于SEM和OSEM都需要在真空环境下工作,因此在准备样品时需要注意样品的导电性和真空兼容性。对于SEM,样品通常需要进行金属涂覆或者处理成导电形式;而对于OSEM,样品通常需要较薄的截面,并且需要通过特定的样品制备方法来保持样品的透射性。

价格和复杂性:由于OSEM需要加入透射光学系统,因此相对于传统的SEM而言,价格较高且复杂性较大。

总的来说,SEM和OSEM在原理、分辨率、样品类型、信号类型、样品准备等方面存在一定的区别,适用于不同的应用需求。选择合适的显微镜类型应该根据具体的研究对象和研究目的来进行判断和选择。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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作者:泽攸科技