扫描电镜探测信号种类
日期:2023-02-24
扫描电镜(SEM)信号探测是指利用扫描电镜产生的不同信号来探测样品表面的形貌、结构和成分等信息的过程。扫描电镜的主要信号有以下几种:
二次电子信号:由于样品表面与电子束的相互作用,产生大量二次电子。这些电子被探测器接收,形成图像。SE信号主要反映样品表面形貌。
回散电子信号:高能电子与样品原子相互作用,被散射到不同方向。其中,被散射角度较大的电子被探测器接收,形成图像。回散电子信号主要反映样品的化学成分和密度等信息。
X射线荧光信号:当电子束与样品相互作用时,会产生X射线。这些X射线被探测器接收,可以分析样品的元素成分和含量。
次级离子信号:电子束与样品相互作用时,会产生大量次级离子。这些离子被探测器接收,可以分析样品的化学成分。
光学信号:SEM中还可以加入一些光学附件,如偏振器、散光镜等,探测样品的光学性质。
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作者:泽攸科技
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