PicoFemto扫描电镜SEM纳米力测量系统
u7cc彩票日期：2022-05-20
PicoFemto SFP3 SEM纳米力测量将纳米压痕仪集成进扫描电镜中，使用户可以在扫描电镜中进行原位纳米压痕研究。该系统由一个三维压电驱动的样品台和一个纳米力测量探针组成。样品安装方式灵活
多样，可在三维纳米位移台的驱动下，达到超过5 mm的准确定位，定位分辨率优于100 nm，以使待测量区域准确对准力探针。力探针同样由压电驱动，在轴向达到100 um的伸缩长度，位移分辨率优于
0.25mm。由力传感器准确测量所施加的力的载荷，可测拉力和压力。并有不同的最大量程的力传感器可选配，达到很好的测量效果。通过搭配电学、
光学、加热等模块，该产品还可以实现包括原位力/热耦合、力/光耦合、力/电耦合、力/热/晶体取向耦合等多场耦合研究。
PicoFemto SFP3 SEM纳米力测量系统基本技术参数表
特征 | 技术指标 |
兼容性 | 兼容赛默飞、日本电子、蔡司、日立、ZEM 等型号扫描电子显微镜 |
最大载荷 | ±10 ~±50 mN可选 |
载荷分辨率 | 优于10 mN |
加载模式 | 拉伸、压缩、弯曲、压痕、划痕等 |
纳米压痕模式 | 加载-保载-卸载，以及循环加载模式 |
软件 | 自动测量载荷-位移曲线，自动保存； |
样品位移反馈 | 闭环 |
响应时间 | 50ms |
加载位移精度 | 0.25 mm |
XYZ反馈 | 开环 |
XYZ粗调范围 | 大于5 mm |
XYZ细调范围 | 2.5 mm |
XYZ细调分辨率 | 0.6 nm |
XYZ位移操作模式 | 手柄操作(可改为软件）。 |
电流测量量程 | ±1.5 A |
电流测量精度 | ±100 fA |
电压测量量程 | ±200V |
电压测量精度 | ±100 nV |
电学测量模式 | 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t） 测量，自动保存。 |
加热范围 | 室温至500 ℃ |
加热稳定性 | 优于1 ℃ |
其他 | 可选光学模块 |
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作者：泽攸科技